Аннотация статьи

Исследованы резонансные свойства трехслойных металлических кантилеверов, имеющих толщину 40 нм. Были изготовлены два типа кантилеверов: Cr-Al-Cr и Ti-Al-Ti. Резонансные частоты кантилеверов определялись по экспериментально полученным резонансным кривым. Возбуждение колебаний кантилеверов осуществлялось электрическими силами, для регистрации колебаний применялся метод светового рычага. Экспериментально получены зависимости первой и второй резонансных частот кантилеверов от длины и ширины. Проведен анализ экспериментальных данных, а также сравнение с результатами расчетов. Обсуждается связь резонансных свойств с формой и материалом нанокантилеверов.

Ключевые слова: наноэлектромеханические системы, нанокантилевер, резонансная частота, изгибные колебания, световой рычаг, шероховатость