Аннотация статьи

Исследуются резонансные характеристики трехслойных металлических микро- и нанобалок толщиной от 60 до 180 нм.
Колебания балок возбуждаются электростатически, регистрация колебаний осуществляется оптическим методом. Получены зависимости резонансных частот балок от геометрических параметров балок. Выполнено сравнение экспериментальных данных с результатами аналитических расчетов и численного моделирования.

Ключевые слова: металлические микро- и нанобалки, многослойные балки, электростатическое возбуждение, резонансная частота