С 1999 г. по 2004 г. журнал выходил под названием «Микросистемная техника» (ISSN 1684-6419). С 2005 г. журнал выходит под названием «Нано- и микросистемная техника» (ISSN 1813-8586). Новое название ориентировано на расширение проблематики журнала, чтобы учесть динамику развития микросистемной техники, переход от технологических приемов микроэлектроники к нанотехнологии, использованию наноматериалов, созданию наносистемной техники.

Журнал включен в Перечень научных и научно-технических изданий ВАК России с апреля 2003 г. С мая 2003 г. журнал выпускается при научно-методическом руководстве Отделения информационных технологий и вычислительных систем РАН.

Наступивший ХХI век ознаменовал новое направление в развитии кремниевой технологии, основанное не только на использовании планарных свойств, но и на объемных конструкционных свойствах кремниевых элементов при создании нового поколения устройств, приборов и механизмов повышенной сложности, применяемых в радиотехнике, оптике, машиностроении, приборостроении, химии и биомедицине. Это научно-техническое направление дало основу для развития микросистемной техники (microsystems engineering – MSE) на базе технологии микросистем (microsystems technology - MST) и микроэлектромеханических систем (microelectromechanical systems - MEMS). В России термин "микросистемная техника" (МСТ) стал использоваться в официальных документах после принятия в 1996 г. Перечня критических технологий Федерального уровня. В приоритетные направления развития науки и техники Российской Федерации на 2001 – 2010 гг. (раздел производственных технологий) в состав критических технологий Федерального уровня включена микросистемная техника.

В настоящее время можно использовать существующую российскую микроэлектронную технологию с небольшой модернизацией для разработки микросистемной техники, отнесенной в странах с высоким научно-техническим уровнем к "критическим" и характеризуемую высоким динамичным развитием с начала 1990-х годов. Дальнейшее развитие работ связано с переходом от технологических приемов микроэлектроники к нанотехнологии.

Наносистемная техника – созданные полностью или частично на основе наноматериалов и нанотехнологий функционально законченные системы и устройства, характеристики которых кардинальным образом отличаются от показателей систем и устройств аналогичного назначения, созданных по традиционным технологиям (термин из «Концепции развития в Российской Федерации работ в области нанотехнологий на период до 2010 года», одобренной в основном Правительством Российской Федерации 18 ноября 2004 г.).

Постановлением Президиума Российской академии наук от 1 июля 2003 № 233 утверждены «Основные направления фундаментальных исследований», включающие в разделе «Информатика» пункт «3.7. Элементная база микроэлектроники, наноэлектроники и квантовых компьютеров. Материалы для микро- и наноэлектроники. Микросистемная техника».

Значительную роль в развитие микросистемной техники внесло Министерство образования Российской Федерации, открывшее в 2000 году подготовку инженеров по новой специальности - 210108 (201800) «Микросистемная техника» в рамках Направления подготовки дипломированного специалиста 210100 (654100) - Электроника и микроэлектроника (приказ от 02 марта 2000 г. № 686), а с 2003 г. – подготовку по специальности 210601 «Нанотехнология в электронике» направления подготовки 210600 (658300) «Нанотехнология». В настоящее время несколько институтов России проводят обучение по этим специальностям.

В декабре 2008 г. Минобрнауки России по резултатам торгов закуплен государственный образовательный стандарт 3-его поколения (ГОС-3) по направлению – Нанотехнология и микроситемная техника.

За последние 2 – 3 года в России значительно увеличился интерес к развитию микро- и наносистемной техники. На это указывает как резко возросшее число конкурсов на постановку новых разработок, так и возросшее в десятки раз посещение сайта нашего журнала в Интернет (http://www.novtex.ru/nmst/).

Задачей журнала является освещение современного состояния, перспектив и тенденций развития микро- и наносистемной техники (МНСТ), рассмотрение вопросов разработки и внедрения в различные области науки, технологии и производства.

Основные тематические рубрики журнала

• Элементы МНСТ
• Материаловедческие и технологические основы МНСТ
• Моделирование и конструирование МНСТ
• Нанотехнологии и зондовая микроскопия
• Молекулярная электроника и биоэлектроника
• Системы на кристалле
• Применение МНСТ
• Информация

Главный редактор журнала – д-р техн. наук, профессор П.П. Мальцев.
Зам. гл. редактора журнала – д-р техн. наук, профессор В.В. Лучинин.
Редакционный совет: академики Асеев А.Л., Гапонов С.В., Климов Д.М., Шевченко В.Я.;
члены-корреспонденты – Аристов В.В., Каляев И.А., Квардаков В,В., Ковальчук М.В., Нарайкин О.С., Никитов С.А., Сауров А.Н., Сигов А.С., Чаплыгин Ю.А.
В Редакционной коллегии: Астахов М.В., Быков В.А., Гурович Б.А. и др.

Аннотации на русском и английском языках с 1999 г. по настоящее время находятся в свободном доступе на сайтах журнала - http://www.novtex.ru/nmst/ и научной электронной библиотеки - http://elibrary.ru. Электронные версии полнотекстовых статей расположены на сайте журнала: с 1999 г. по 2003 г. в разделе «ПОИСК СТАТЕЙ» и с 2004 г. - в разделе «АРХИВ».

Журнал включен в Российский индекс научного цитирования и имеет индекс – 0,21.

Журнал распространяется только по подписке.
Оформить подписку можно через подписные агентства (подписные индексы по каталогам: «Роспечать» - 79493; «Пресса России» - 27849) или непосредственно в редакции:
107076, Г. МОСКВА, СТРОМЫНСКИЙ ПЕР., 4, изд-во «Новые технологии»,
редакция журнала «Нано- и микросистемная техника»,
Телефоны: (499) 269-55-10; 269-53-97
Факс: (499) 269-55-10
Е-mail: nmst@novtex.ru; it@novtex.ru; http://www.novtex.ru/nmst/; http://www.novtex.ru